पेरफ्लूरोएथर रबर (एफएफकेएम)एक उत्कृष्ट सीलिंग सामग्री है। अपने बेहतर प्रदर्शन के कारण, इसे सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रणाली में व्यापक उपयोग मिला है। एकीकृत सर्किट के उत्पादन के लिए आवश्यक प्राथमिक उपभोग्य सामग्रियों में से एक पेरफ्लूरोथर सीलिंग रिंग है।
पेरफ़्लुओरोएथर रबर में मुख्य मोनोमर्स टेट्राफ्लुओरोएथिलीन और पेरफ़्लुओरोएल्किल विनाइल ईथर हैं, जो वल्कनीकरण बिंदुओं के साथ तीसरे मोनोमर्स की एक छोटी मात्रा के साथ कोपोलिमराइज़ किए जाते हैं। यह एक रबर है जिसमें कोई सीएच बांड नहीं होता है। इसकी आणविक संरचना की फ्लोरीन सामग्री, पेरफ्लूरिनेटेड विनाइल ईथर की संरचना और सामग्री, और वल्कनीकरण प्रक्रिया में बॉन्ड ऊर्जा और क्रॉसलिंकिंग बॉन्ड की मात्रा सभी वल्केनाइज्ड यौगिक के प्रदर्शन और ग्लास संक्रमण तापमान को प्रभावित करते हैं। संरचना और घटक भिन्न हैं, साथ ही उनका प्रदर्शन भी भिन्न है। पेरफ़्लुओरोथर रबर की प्राथमिक प्रदर्शन विशेषताएँ निम्नलिखित हैं:
1) भौतिक गुण: घनत्व 1.9-2.0g/cm3 है, भौतिक और यांत्रिक गुण फ्लोरोरबर के समान हैं, और उच्च तापमान संपीड़न सेट फ्लोरोरबर से बेहतर है।
2) रासायनिक प्रतिरोध: यह रासायनिक रूप से प्रतिरोधी है।
3) उच्च और निम्न तापमान का प्रतिरोध: ऑपरेटिंग तापमान आमतौर पर 260290 डिग्री है, लेकिन इसे 316 डिग्री पर रुक-रुक कर इस्तेमाल किया जा सकता है। कुछ पेरफ्लुओरोथर रबर का टीजी (ग्लास संक्रमण तापमान) -19 डिग्री है।
4) उच्च तापमान वाली भाप का प्रतिरोध।
5) कम वर्षा और विमोचन।
6) प्लाज्मा का प्रतिरोध।
इसमें प्लाज्मा वातावरण में उच्च सफाई और कम वर्षा उत्पाद विशेषताएं हैं, और यह लंबे समय तक प्लाज्मा प्रभाव का सामना कर सकता है।सेमीकंडक्टर निर्माण में इलास्टोमेर गास्केट की विश्वसनीयता महत्वपूर्ण है, और गास्केट को बदलने के लिए उत्पादन रोकने की लागत बहुत अधिक है। संभावित जोखिमों से बचने के लिए सीलों की सफाई और शुद्धता की आवश्यकताएं बेहद सख्त हैं। साथ ही, सील को उच्च वैक्यूम, संक्षारक रासायनिक गैसों और उच्च तापमान वाले वातावरण के दबाव में लंबे समय तक काम करने में सक्षम होना चाहिए।
पेरफ़्लुओरोएथर रबर के कच्चे माल महंगे हैं और आमतौर पर सेमीकंडक्टर निर्माण में उपयोग किए जाते हैं। यह प्लाज्मा संक्षारण, गैस संक्षारण, एसिड और क्षार संक्षारण, उच्च तापमान संक्षारण, रबर सील के लिए उच्च सफाई आवश्यकताओं के लिए प्रतिरोधी है, सील की अखंडता को बनाए रखने में मदद करता है, रखरखाव के समय को कम करता है और सुरक्षा में सुधार करता है, और अर्धचालक विनिर्माण के लिए सबसे अच्छी सील है। सामग्री।